据市场调研公司Gartner统计，2005年全球半导体制造设备销售额总计为345亿美元，比2004年的386亿美元下降10.7%。Gartner将其归昝于产能增长减速，且65纳米技术初步投产。

       “半导体制造设备市场在2005年下滑，是诸多因素共同作用的结果，这些因素导致市场对于新产能的需求放缓。”Gartner半导体制造与设备研究部门副执行总裁Klaus Rinnen表示，“2005年上半年库存过剩导致厂商减产，而需求增长放缓则推动2005年初产能利用率下降，终导致产业陷入供应过剩的局面。当然，好于预期的宏观经济形势促进了终端用户的需求，使得产业在2005年中期摆脱了库存过剩的局面。”

       10大半导体制造设备厂商的销售额多数下滑，与总体市场形势一致。KLA-Tencor和ASML公司的表现则是个例外，它们的销售额分别增长了5.6%和1.9%。

       从地域分布来看，亚太地区在2004年实现高速增长之后，2005年下降了20个百分点。2004年这些地区的市场份额占据全球的50%以上，而到2005年份额下降到44.5%。日本地区经过前年的48.4%的健康增长之后，其2005年半导体制造设备走势基本平稳。欧洲地区的半导体制造资本支出在2005年下降1个百分点，除了英特尔和AMD分别在爱尔兰和德国扩大了生产制造规模之外，欧洲各公司都继续拥至欧洲以外地区进行投资。美洲地区半导体制造市场增长了9%，各个制造领域的规模都有所扩大。

       Gartner预计2006年半导体制造市场将恢复正增长，并将其资本支出的预测增长率从目前的8.4%抬高至2位数的增长。

       “我们乐观看2006年的同时，也保持谨慎态度——如果目前的这些预期不能实现，存储领域产能过剩的风险可能会更大。”Rinnen表示，“存储领域的产能增长在2006年依然火热，但同时也是脆弱的领域。”