Aviza日前宣布其新一代单晶原子层沉积(ALD)系统 Celsior已交货于我国一家集成电路晶圆厂。Celsior系统将用于90纳米DRAM的制程中。
      原子层沉积是一项关键技术，可以协助实现装置的连续缩放并满足90纳米及更精密装置结构的严格沉积要求。Celsior的一项关键特性是其经过生产检验的平台，同样的软件平台已被应用于全球各地晶圆厂生产环境中的化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD) 和蚀刻(Etch)系统中。